Disse modeller er i den grundlæggende opbygning som XDL modellerne – men dog mere avanceret pga. detektor, collimator og filtre.
PIN detektor udgaven anvendes ofte til analyse af hårdmetal belægninger.
SDD detektorer anvendes til mere komplicerede måleopgaver – tynde belægninger, adskillelse af meget ens komponenter (Au og Pt), elektronik (ENIG/ENEPIG) og sporstofanalyse.